射頻電源匹配器一體機    

    600W-1.5kW射頻電源系列    

    3kW-20kW射頻電源系列    

應用領域及行業：
半導體工藝設備、等離子體處理、材料表面改性、LED與?太陽能光伏產業?、科學實驗、醫療美容、常壓等離子體消毒清洗等

等離子體清洗、等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、薄膜沉積、硅晶鍍膜等

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